Bei der kapazitiven Methode ber�¼hrt der Finger einen Halbleiterchip, der mittels Messung der Gleichstromkapazit�¤t zwischen der Chipoberfl�¤che und der Fingeroberfl�¤che digitale Graustufenbilder mit 256 Graustufen erstellt. Die Idee, die lokale Gleichstromkapazit�¤t zwischen der Haut der Fingerkuppe und einem flachen Sensor zu messen, stammt von Constantine Tsikos (Siemens) und wurde unter dem Patent DE3172656D ver�¶ffentlicht. Kapazitive Sensoren bestehen aus einer Siliziumfl�¤che, die wiederum aus einem Array von winzigen Zellen besteht. Diese Zellen generieren mit der Kapazit�¤tsmessung ein Bild. Die Anzahl der Kondensatorplatten bzw. der Zellen auf der Sensoroberfl�¤che bestimmt die Aufl�¶sung, gemessen in DPI300. Die Fingerober�¤che stellt hierbei die entgegengesetzte Kondensatorplatte dar. Das unterschiedliche Kapazit�¤tsniveau ist eine Funktion der Distanz zwischen Kondensatorplatte bzw. Pixelelektrode und Fingeroberfl�¤che bzw. der Haut. Anhand der verschiedenen Kapazit�¤ten bzw. der Kapazit�¤tsdifferenzen, die sich zwischen der Fingeroberfl�¤che und dem Kondensatorarray bzw. Pixelelektrodenarray ergeben, wird das Graustufenbild durch die resultierende Kapazit�¤tsverteilung generiert. Negativ auf den Bildkontrast wirken sich Seiten- und St�¶rkapazit�¤ten aus, die sich bei gr�¶�Ÿerer Distanz zwischen Pixel und Finger, erh�¶hen. Da sich der gemessene vertikale kapazitive Wert umgekehrt proportional zur Distanz zwischen Pixel und Finger verh�¤lt, ist eine entsprechende Schutzhaut oder -folie der Sensormatrix des Halbleiters bez�¼glich der Dicke ein entscheidender Faktor f�¼r die resultierende Bildqualit�¤t. Die Schutzschicht ist von der Dicke her begrenzt, da sich mit h�¶herer Dicke die Bildqualit�¤t verschlechtert.
Dadurch bedingt, besteht die Gefahr der ZerstÃ?¶rung des Halbleiters durch elektrostatische Entladung des Fingers. DarÃ?¼berhinaus haben kapazitive Sensoren den Nachteil, dass feuchte Finger zu schwarzen Bildern fÃ?¼hren, da die LeitfÃ?¤higkeit der Fingerbeere verÃ?¤ndert wird. Andererseits fÃ?¼hren extrem trockene Finger zu blassen Bildern, die geringe oder gar keine Kontraste aufweisen. Dies hat auch der Test  mit der Sparkasse Leipzig und dem Deutschen Sparkassenverlag (DSV) im Zusammenhang mit dem Siemens-Biometriemodul gezeigt, letzteres setzt wiederum den CMOS-Sensor von Infineon ein. Kapazitive Sensoren sind fÃ?¼r den Auenbereich nicht geeignet, da sie extrem feuchtigkeitsempfindlich sind. Die Ergebnisse des BioTrusT-Projektes bezÃ?¼glich der Haltbarkeit von kapazitiven Sensoren konnten die durchaus positiven Angaben der Hersteller nicht bestÃ?¤tigen.
Als f�¼hrende Hersteller von kapazitiven Sensoren sind Infineon, Veridicom, Sony und Upek zu nennen.